Method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane and Fine electrode formed by the same

Kyung Sun (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에의해 형성된 미세전극
Original languageEnglish
Patent number10-0864536
Publication statusPublished - 2008 Oct 14

Fingerprint

Polydimethylsiloxane
Electrodes

Cite this

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TY - PAT

T1 - Method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane and Fine electrode formed by the same

AU - Sun, Kyung

PY - 2008/10/14

Y1 - 2008/10/14

N2 - 폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에의해 형성된 미세전극

AB - 폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에의해 형성된 미세전극

M3 - Patent

M1 - 10-0864536

ER -